ГОСТ 21815.18-90

ОбозначениеГОСТ 21815.18-90
НаименованиеПреобразователи электронно-оптические. Метод измерения пространственной частотно-контрастной характеристики
СтатусДействует
Дата введения01/01/1993
Дата отмены-
Заменен на-
Код ОКС31.100
Текст ГОСТа

45 коп. БЗ 12—90/998

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ стандарт

СОЮЗА ССР

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ

ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИЕ

МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ПРОСТРАНСТВЕННОЙ ЧАСТОТНО-КОНТРАСТНОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ

ГОСТ 21815.18—90

Издание официальное

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО УПРАВЛЕНИЮ КАЧЕСТВОМ ПРОДУКЦИИ И СТАНДАРТАМ

Москва

УДК 621.383.8.083:006*354 Группа 329

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИЕ

Метод измерения пространственной частотно-контрастной характеристики

Image intensifier and image converter tubes. Modulation transfer function

ГОСТ

21815.18—90

ОКП 63 Ш0

Дата введения 01.01.93

Настоящий стандарт устанавливает метод измерёния пространственной частотно-контрастной характеристики (далее — ЧКХ) электронно-оптических преобразователей (далее —■ ЭОП), предназначенных для применение в приборах видения.

Общие требования к проведению измерений и требования безопасности — по ГОСТ 21815.0, требования к источникам напряжения приемника излучения — по ГОСТ 11612.0.

Термины, применяемые в настоящем стандарте, и их пояснения приведены в приложении 1 настоящего стандарта, в ГОСТ 16263 и ГОСТ 19803.

Требования настоящего стандарта являются обязательными.

1.1. Принцип измерения пространственной ЧКХ заключается в измерении коэффициента передачи контраста (далее — КПК) Тм для ряда пространственных частот NK , приведенных к пло-

скости фотокатода испытуемого изделия, в диапазоне, который указывается в стандартах или технических условиях на ЭОП конкретного типа.

1.2. Метод основан на гармоническом анализе функции рассеяния линии анализирующим растром с последующей регистра-

/ Am ах Атш\

циеи модуляции сигнала [—7 xi— > представляющей отноше-

ние амплитуды переменной составляющей распределения к среднему значению, т. е. к постоянной составляющей. Во время измерения значения постоянной составляющей должны быть неиз-

1. ПРИНЦИП ИЗМЕРЕНИЯ

2 Зак. 462

менны, тогда измеренные амплитуды будут пропорциональны КПК, а КПК для каждого значения пространственной частоты NK , приведенной к фотокатоду ЭОП, вычисляют по формуле

TN

К

^шах in

^max4~ ^min

(i)

где Атах —максимальное значение полезного сигнала; Л min —минимальное значение полезного сигнала.

Примечания:

L Гармонический анализ позволяет использовать:

сканирование изображения щели растром переменной плотности или переменной площади с с шусоидальным законом пропускания в направлении сканирования;

сканирование изображения щели растром с прямоугольной формой волны с последующим выделением основной гармоники сигнала путем электронной фильтрации;

сканирование изображения полуплоскости узкой щелью с представлением результатов в виде ЧКХ

Все указанные методы должны удовлетворять требованиям по погрешности измерений, указанным в настоящем стандарте.

2. Допускается сканирование растром с прямоугольной формой волны без выделения основной гармоники сигната. В этом случае произведенные измерения следует квалифицировать, как спределение КПК по растру с прямоугольной формой волны (ТN с указанием в стандартах или технических условиях на ЭОП конкретного типа).

2. ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ АППАРАТУРА

2.1. Для измерения КПК ЭОП следует применять измерительные приборы и вспомогательные устройства, входящие в установку, в соответствии с черт. 1.

12 3 4 5 0 7 8 9 10 11

€ — выходной микрообъектив; 7 — выходной зрачок микрообъектива поз, 6; 8 — анализирующий растр; 9 — коллектив; 10 — приемник излучения, 11 — регистрирующее устройство; 12 — микроскоп; ФК — фотокатод; Э — экран; А — анализирующий блок

Черт. 1

2.2. Осветитель с нормируемым по ГОСТ 21815.0 спектральным составом должен обеспечивать равномерную яркость (неравномерность не более ±1 %) рабочей щели ,и совместно с входной оптикой создавать предельно допустимую освещенность в плоскости входа ЭОП, допускаемую стандартом или техническими условиями на ЭОП конкретного типа.

Максимальная погрешность установления освещенности не должна превышать 15 %, закон распределения нормальный.

Примечание. Допускается применение осветителя с ненормированным спектральным составом излучения. При этом в эксплуатационной документации на севетитель должна быть приведена методика определения указанной освещенности с погрешностью, не превышающей значений п 2.2.

2.3. Диафрагма со щелью должна быть установлена на оптической оси установки в плоскости предмета входного объектива, и удовлетворять требованиям, изложенным в приложении 2.

2.4. Типы входного и выходного микрообъективов, их апертуры и увеличение указывают в стандартах или технических условиях на конкретные типы ЭОП.

2.5. Держатель ЭОП должен обеспечивать надежное крепление ЭОП и обеспечивать возможность измерения ЧКХ в точках фотокатода испытуемого ЭОП, заданных в стандарте или в технических условиях.

2.6. Анализирующий растр должен быть установлен в плоскости изображения выходного объектива. Контраст растра должен быть абсолютным, т. е. равен 1. Светопропускание растра допускается с синусоидальной и прямоугольной формой волны. Высота растра не должна превышать изображение щели в его плоскости. Остальные требования — в приложении 3.

2.7. Коллектив располагается на оптической оси выходного микрообъектива и должен проектировать выходной зрачок микрообъектива в плоскость светочувствительной площадки приемника излучения Геометрические размеры должны удовлетворять требованиям приложения 3.

2.8. Регистрирующее устройство должно обеспечивать удобную индикацию электрических сигналов (амплитудные значенья), прц необходимости, с последующим усилением и дополнительной электронной обработкой. Средняя квадратическая случайная погрешность регистрирующего устройства не должна превышать 2 %, доверительная вероятность Р = 0,95, закон распределения — нормальный.

2.9. Выбор элементов схемы (микрообъективов, приемников излучения, регистрирующего устройства) проводят согласно приложению 3, ГОСТ 21815.0 и приложению 4 настоящего стандарта.

3. ПОДГОТОВКА И ПРОВЕДЕНИЕ ИЗМЕРЕНИЙ

3.1. Испытуемый ЭОП устанавливают в держателе в положении, указанном в документации на данный тип ЭОП, соединяют с источником питания (участок фотокатода для измерения ЧКХ указывается в ТУ на ЭОП).

3.2. На ЭОП подают номинальное напряжение, указанное в стандартах или технических условиях на ЭОП конкретного типа.

3.3. Лампе накаливания задают режим, соответствующий источнику света с цветовой температурой 2856 К по ГОСТ 7721.

3.4. С помощью осветителя обеспечивают яркость щели или освещенность ее изображения на фотокатоде, не превышающую максимальной рабочей освещенности Етах для ЭОП конкретного типа (в соответствии с ТУ).

3.5. Наблюдая в микроскоп, находящийся на оптической оси выходного объектива и сфокусированный на растр, производят необходимые предварительные фокусировки:

изображения щели на входе ЭОП;

изображения щели с выхода ЭОП в плоскость анализирующего растра.

Изображение щели (его средняя часть) должна перекрывать по высоте размер растра.

Окончательный контроль фокусировок — по максимальной величине сигнала.

3.6. Для регистрации сигналов от изображения щели, промоду-лированного растром, на оптическую ось выходного объектива за растром вводят коллектив, изображающий выходной зрачок выходного микрообъектива на рабочую площадку приемника излучения, подключенного к регистрирующему устройству.

3.7. Проводят регистрацию сигналов во всем диапазоне частот растра, сканируя им изображение щели с экрана испытуемого ЭОП. Для повышения точности измерения проводят не менее 5 раз.

3.8. Для определения нулевого отсчета А0 проводят регистрацию сигнала при работе испытуемого ЭОП без световой нагрузки на катод (учет темнового фона и посторонних засветок). Полученное значение сигнала принимают за нулевой отсчет А0.

3.9. Измерение КПК и нулевого отсчета А0 проводят в темноте.

4. ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬТАТОВ

4.1. Коэффициент передачи контраста TN испытуемого ЭОП

к

для каждой частоты NK, приведенной к плоскости фотокатода испытуемого ЭОП, вычисляют по формуле

Ты

^тях ^

т 1 л

^■тах+^ш т 24 0

/Сп,

(21

где Атах — максимальное значение сигнала, соответствующее совмещению центра прозрачного штриха растра в середине элемента каждой группы с изображением пимы;

Amin — минимальное значение сигнала, соответствующее совмещению центра непрозрачного штриха в середине элемента каждой группы с изображением щели;

А0 — значение нулевого отсчета;

Кп —■ поправочный коэффициент, учитывающий систематическую погрешность, вносимую измерительной установкой.

Поправочный коэффициент Кп определяют для каждого конкретного варианта входной и выходной оптики для каждого типа измеряемых ЭОП.

Определение поправочного коэффициента Ки проводят по методике, указанной в приложении 5, и результат заносят в формуляр измерительной установки.

Пространственную частоту (NK ), мм-1, — рассчитывают по формуле

NK=

/vr,

вых. on

(3)

где Гэ —электронно-оптическое увеличение испытуемого ЭОП, измеренное по ГОСТ 21815.10;

Гвьтх оп •—увеличение выходного микрообъектива (указывают в ТУ на изделие конкретного типа);

Р — период растра анализирующего блока, мм (указывают в формуляре измерительной установки).

4.2. Строят график зависимости значений КПК от частоты NK>T—f(NK ), представляющий собой частотно-контрастную характеристику ЭОП.

4.3. С графика ЧКХ снимают значения Тдг для заданных час-

_ к.

тот по НТД на испытуемое изделие.

5. ПОКАЗАТЕЛИ ТОЧНОСТИ ИЗМЕРЕНИЯ

5.1. При соблюдении требований настоящего стандарта суммарная погрешность измерения КПК ЭОП для частоты, не превышающей 16 шт./мм, с вероятностью 0,95 находится в интервале

± 10 % — Для изделий с Гэ >0,81;

±12 % — для изделий с Гэ <0,80.

Закон распределения — нормальный.

Расчет погрешности приведен в приложении 6.

ПРИЛОЖЕНИЕ 1 Справочное

ТЕРМИНЫ, ПРИМЕНЯЕМЫЕ В НАСТОЯЩЕМ СТАНДАРТЕ,

И ИХ ПОЯСНЕНИЯ

Термин

Букве1ное обозначение

Определение

Анализирующий растр

Испытательный элемент с известными формой, размерами и размещением темных и светлых участков, их пропусканием, плотностью

Величина, обратная расстоянию между последовательными максимумами в распределении растра

Пр остра нствезная частота растра

N

Пространстве иная частота, приведенная к фото,катоду ЭОП

Пространственная частота растра, пересчитанная в плоскость фотокатода ЭОП с учетом увеличения элементов схемы

Пространственная частота, приведенная к экрану ЭОП

Н»

Пространственная частота растра, пересчитанная в плоскость экрана ЭОП, с учетом увеличения элементов

схемы

Функция рассеяния линии

Цх)

Распределение интенсивности света в изображении бесконечно тонкой светящейся линии

Оптическая передаточная ф> нкция

G(to)

Норма лизова иное фурье-ггреобра-зование функции рассеяния линии

ПРИЛОЖЕНИЕ 2 Рекомендуемое

ТРЕБОВАНИЯ К ДИАФРАГМЕ СО ЩЕЛЬЮ

Диафрагма представляет собой непрозрачную пластину с окном прямоугольной формы щелью в соответствии с черт. 2. Отношение коэффициента пропускания, соответственно, щели (тщ) и непрозрачного поля диафрагмы (т ) должно удовлетворять условию

1г >200 • о)

Ширину щели (а) определяют из условия

1

а^ 4Д( ,г » (5)

^vk шах 1 вх.оп

где 7VKmax—максимальное значение пространственной частоты на катоде испытуемого ЭОП в диапазоне частот, указанных в документации на ЭОП конкретного типа, мм-1;

Гвх оп — увеличение входной оптики

Рабочую высоту щели {Лр) в миллиметрах определяют из условия

h__tfp_

Г . Г_ r ’

1 вых оп 1 э 1 ВХ оп

где Нр —высота элемента анализирующего растра,

Гж ^—увеличение выходной оптики,

Гэ “ электронное увеличение испытуемого ЭОП Полная высота щели (h) должна удовлетворять условию

Л>1

(6)

ПРИЛОЖЕНИЕ 3 Рекомендуемое

ТРЕБОВАНИЯ К ЭЛЕМЕНТАМ СХЕМЫ ИЗМЕРЕНИЯ

1 Длина элемента /р анализирующего растра должна удовлетворять требованию

h>* Лшхоп А, (7)

где 6 —ширина функции рассеяния линии ЭОП, приведенная к плоскости катода,, в пределах которой содержится не менее 99 % энергии светящейся щели;

/"выХ оп —увеличение выходной оптики,

Гэ — электронно оптическое увеличение ЭОП

Значение б — функция рассеяния линии, в пределах которой сосредоточено R 100 %-ной энергии светящейся линии, определяется распределением энергии в изображении линии, выражаемая Гауссовской функцией

Цх)=е“ьг , (8)

где х — приведено к плоскости катэда ЭОП,

В этом случае

в

Х—~9~ —х*

f e^"dx

tf=-L-^- • (9)

С/ч

Г е4Ьг d*

Интеграл в знаменателе формулы (9) равен ]/~nb . Интеграл в числителе

X — Р

формулы (9) равен 2bVr п Ф0(*), где Ф0(*)= Т7== I е 2 dt — интеграл

К 2л о

вероятности.

Решая формулу (9), получим

(Ю)

R=* 2Ф0(л).

Найдя по значению функции ф0(х) =* —д- значение аргумента х (по таблицам интеграла вероятности), определяют (б) из соотношения

6=х2 УТЬ, (И)

где b — параметр, характеризующий степень размытия изображения точки ЭОП.

Параметр (6) может быть приб/иэительно определен по известие му значению предела разрешения ЭОП Nпр

3903AU

О 1 J О — г*

1 Э 1 ок

N2

1 пр

(12)

где jVnp — предел разрешения ЭОП;

Г, .Г ок —электронно-оптическое увеличение ЭОП я увеличение окуляра при измерении Мпр соответственно.

Так например, если JVnp =30 мм-i, Гэ~ 1, Г0к= то 6 = 0,CG5 (по формуле 12) и 6 = 0,3 мм (го формуле 11)

2 Прозрачность светлых участков растра должна быть 0,05, плотность непрозрачного слоя <3

3 Лингйное поле зрения (5/') выходного микрообъектива должно удовлетворять услэв ию

2i’>y ril+Pp ,

(13)

где Яр —высота элемента анализирующего растра;

Iр —длина элемента анализирующего растра,

4. Световой диаметр коллектива (DCB ) должен быть не менее линейного поля зрения выходного микрообъектива.

ПРИЛОЖЕНИЕ 4 Рекомендуемое

ПЕРЕЧЕНЬ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЯ

Приемник излучения — ФЭУ—£4 ОРЗ.253.044 ТУ чувствительность фо

токатода не менее 130 мкА/лм; анодная чувст-вительи эсть не менее 100 А/лм; темповой ток не более 3-10—8 А

Бьа стродей ствующ ий с а-мопишущий прибор

Микрообъект и вы

Окуляры Гюйгенса Устанс вка для измерений ч астотно-контр астных

характеристик (ЧКХ) ЭОП

— Н2 28 ТУ 25 —04—236 3—7 4 постоянные регистрации: 0,02; 0,05 В/см; частотный диапазон

О—1С0 Гц

— по РМО 912—68 ОМ-12 увеличение 3*,7Х, апер

тура 0,11; М-42 увеличение 10Х, апертура 0,2; ОМ-5 увеличение 10Х^ апертура 0,3; ОМ-27

увеличение 20Х, апертура 0,4; ОМ-16 увеличение 40Х) апертура 0,95, ОХ-14 фокусное расстояние 13,9 мм

— AM 6 увеличение 4Х; АМ-11 увеличение 7Х

— К 03 421 ТУ диапазон пространственных частот миры от 0ЛСб до 2,0 мм—1; длина измеряемых ЭОП от Z 0 мм до 3«С 0 мм; ширина рабочей щели 0,1 мм; освещенность на входе испытуемого ЭОП от 5 10-4 лк до 52 лк.

ПРИЛОЖЕНИЕ 5 Обязательное

МЕТОДИКА ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОПРАВОЧНОГО КОЭФФИЦИЕНТА Кл

Из теории спектров известно, что спектр сигнала на выходе системы IN связан со спектром входного сигнала 0N соотношением

'°n * (15)

где 0N —спектр сигнала на входе системы;

Fn—частотно-контрастная характеристика системы в целом.

На установке, функциональная схема которой показана на черт, 1, измеряемая величина TN представляет значение функции на частоте

К

Значение функции xN на пространственной частоте N—NK равно

ХПк===Твхм

к Л^к к

где Т BXN —коэффициент передачи контраста входной оггтики; к

Т N — коэффициент передачи контраста ЭОП; к

Т Bbixyv —коэффициент передачи контраста выходного блока.

Значение функции (0N ) на пространственной частоте N$ — iVK/r э вычисляют по формуле

sin(A/K-A-л)

°N,r~

Nu • А * л

(17)

где А—ширина щела, приведенная к плоскости §сатода ЭОП, мм

(Л=а ■ Г*вх>оп) •

Следовательно, в соответствии с формулой (15), на частоте N=Nk измеряемое значение КПК равно

^г°х'ЧГвмх'Ч (18)

Пользуясь формулами (16) и (16), можно получить искомое значение TN ЭОП

Г* =

N.

К Т'вх 'ТВых„

-Тдг -/Сп,

к

(19)

N.

где Яп—

Гвх * ТВЫХ *

— поправочный коэффициент (2 0) установки на

N.

Ыэ "к

частоте W к;

1

— — поправка, учитывающая погрешность, вносимую щелью при отступлении

С

N

к

ее размера Д от величины, равной Д= — (практически но вносящей погрешность в метод измерения).

1. Методика определения К пустановки для измерения ЭОП с /\>0,81

1.1. Для определения Кп установки используют измерительные приборы и вспомогательные устройства, входящие в установку, функциональная схема которой приведена на черт. 1.

1.2. Входной блок с рабочей щелью (осветитель, входная оптика) н блок приемного устройства (анал азирующий блок и регистрирующее устройство) сдвинуть навстречу друг другу до получения резкого изображения рабочей щели в плоскости анализирующего растра.

1.3. Измерения КПК установки провести в соответствии с пп. 3.5—Зи7, а обработку результатов — в соответствии с разд, 4 настоящего стандарта.

Полученное значение

Густ* “Т'вх -твы =1VK. (21)

к к 1 э

1.4. Измерение проводят не менее 9 раз. Среднее арифметическое значение Tyc?N для каждой группы растра рассчитывают го формуле

п

уст 7V

п

(22)

где п—чис^о измерений; г — номер измерения.

1.9. Поправочный коэффициент Кп рассчитывают по формуле (20) с учетом расчета 0N по формуле (17) и TyciN по формуле (22).

к к

1 2 3 4 5 6 7 8 9

t — осветитель; 2 — диафрагма со щелью; 3 — входная оптика (микрообъектив в обратном ходе); 4 — выходной микрообъектив, 5 — выходной зрачок микрообъектива поз. 4\ 6 — анализирующий растр; 7 — коллектив; 8 — приемник излучения; 9 — регистрирующее устройство; 10 — микроскоп; А — анализирующий блок

Черт. 3

2. Методика определения Кп установки для измерения ЭОП с /^<0,8

ЙЛ. Для случая, когда электронно-оптическое увел тчеяше вслытуемого изделия Гэ <0,8, при измерении КПК ЭОП блок осветителя будет работать на

частотах NK, а приемный блок — да частотах А^э—~г~~ ■

•* э

В этом случае необходимо провезти раздельные измерения КПК блока осветителя и приемного блока, а поправочный коэффициент определять по формуле

*п=*П1**П1’ (23>

где Кп = -—=--поправочный коэффициент осветителя с ргбочей

1 Tbxn О щелью;

к "к

1

КП2= —поправочный коэффициент приемного блока.

BMXN э

2.2. Измерения проводят поэтапно.

2 2.1. Провести измерения КПК по методике, указанной выше в полном диапазоне частот, и провести расчет по фсрмуле (22).

2 2.2. В плоскость предмета выходного микрообъектива ввести вспомогательную щель

‘В СП

с

min

4 Г

вых.оп

где Р pm in — минимальный период растра анализирующего узла; Р вых од—увеличение опт ней анализирующего блока.

2 2 3 Рабочую щель вынуть

22 4* Провести намерения КПК выходного блока Измерения повторить не менее 9 раз.

22 5 Вычислить средние арифметические значения КПК для каждой группы растра по формуле

п

S Г1

вых

Ыэ

вых

N.

П

2 2 6 Искомое значение TBblxN вычислить по формуле

(24)

Т'вых N

вых

Nr

(25)

где

Sin(jV3 ^всп л) А^Э Авсп л;

значение функции О^для вспомогательной щели

^всп *

2 27 Поправочные коэффициенты Кп± и КП2 вычисляются соответггвенно по формулам

BI IX

N.

ки= =

Устдг °ык

1 К

где Т'выхд^ —рассчитывают по формуле (26), -рассчитывают по формуле (17), рассчитывают по формуле (22)

О

N.

ycTN.

Кп— т

1

В^>1Х

N

где ТBbI3rJV —рассчитано по фсрмуле (25)

9

2 28 Построить графики зависимости ХП1=/(ЛГК ) и KBt=nNB)

(26)

(27)

При расчете Кп по формуле (2 3) значение Кп и КПг берут из графиков, причем К — на частотах NK , указанных в НТД на испытуемый тип

N

изделий, а К П2 — на частотах N3~ —

2 1 э

личение испытуемого изделия

где Гэ—электронно-оптическое уве-

2 2 9 Осмоин ая п риведенная погрешность при определении К и не превышает 5 % при доверительной вероятности 0,95, закон распределения — нормальный

Примечание При определении Кп увеличение микрообъективов входного блока и выходного должно быть одинаковым (например для случая, когда Г э >3,81, 1QX, а для сттучая, когда Гэ<0,8, 20Х)

ПРИЛОЖЕНИЕ 6 Справочное

РАСЧЕТ ПОГРЕШНОСТИ

1. Формула вычисления коэффициента передачи контраста на заданной частоте NK ю введенной в плоскость катода 1иопытуемого ЭОП, по данным измерений имеет следующий вид

Т

TN =

N.

Туст оы

pj Кп}

(28)

где Г» — намеряемое значение КПК;

к

Кп —поправочный коэффициент, учитывающий системат шескую погрешность, вносимую измерительной установкой 2 Средняя квадратическая погрешность измерения КПК вычисляется по формуле

а

т

N

г

= 1/ 2а:

пр ус

+К2„ а2

пф

к

(29)

где а1]р >с—средняя квадратическая случайная погрешность приемного блока установки,

Отт —средняя квадратическая погрешность, обусловленная нестабиль-

и пф

ностью подфокусирующего напряжения ЭОП;

Кц—коэффициент влияния приращения подфокусирующего напряжения

ЭОП на приращение отсчета п (К и — 1),

сгtл — средняя квадратическая погрешность, связанная с нестабильностью питания лампы;

<тх jv — средняя квадратическая погрешность при определении системати-п к. ^

ческой ошибки установки | Кп^к~ -=- ] на частоте NK .

^ 7’устОл/к /

2 I Средняя квадратическая случайная погрешность приемного блока ус

тановки (приемник ФЭУ-84) составляет oL

ip ус

2 2 Среднюю квадратическую погрешность о гг , обусловленную подфоку-

пф

сирующим напряжением ЭОП, вычислять по формуле

+°ист+

ипф ипр

а

и.

где о ц , о ц

пр ^пульс

(30)

нуле v t

—СКО прибора контроля подфокусирующего напряжения, связанные с пульсациями и нестабильностью напряжения.

аи =

пр

U

1,5

1,73 — 1,73 “-0’87 % »

где —основная погрешность прибора контроля подфокусирующего напряжения;

Оц^—дополнительная средняя квадратическая погрешность прибора на краю интервала температур (25—30) °С.

дц *0,5

°Uf= 1,73 ^

1,5-0,5 1,73

= 0,43 %.

а

и

пульс

£

и.п

3

од

3

где еи п-максимальная величина пульсации (еяп =0,1 %).

=0,033 96,

источников

питав ия изделий

а

ист

^ист в

Тдз“

2

р

^ист с

2Д~

2

^0,42 %,

Вист—максимальное значение нестабильности подфокуоирующего напряжения (вист в — во времени — 1 % и еист с —по сети — 1 %).

Подставляя полученные значения в формулу (ЗЮ1), получим

at =0,872-f 0,432-|- 3 033^ + 0,42s = 1,12 %.

пф

2 3 Среднюю квадратическую погрешность сг^л, связанная с нестабильностью питания лампы, вычисляют по формуле

о

2

I л

+

с л. в

(31 >

где Кл — коэффициент влияния нестабильности источника питания лампы на отсчеты п и п0 (определен экспериментально /Сл =6,5). а*л с » а^л в'—средняя квадратическая погрешность нестабильности источника

питания лампы при изменении напряжения сети на ±10 % и за время измерения соответственно

'Л с

=сг.

'Л .в

е, &i

^л с ^л в

з = ~~з—

0^2

3

=0,067 %;

е*л с ~&1л в— максимальное значение нестабильности источника питания лампы* Подставив численные значения в формулу (31"), получим

o^=6,52(0,0672+0,0672)=0,38 %.

24 Определение погрешности о ^ ^ .

2 4 1. Среднюю квадратическую погрешность ст^ N

J1 1

тематической ошибки установки на частоте NK —— Гэ ^ 0,81 вычисляют по формуле

при определении оис-

Г

вых оп

для изделии с

°*п*к

-°уст а%к+аУ N

(32)

К

где OyC1Jv — средняя квадратическая погрешность при определении КПК са-

к

мой установки на частоте NK ,

Opj —средняя квадратическая погрешность при вычислении АГК;

GqN —средняя квадратическая погрешность за счет поправки на шири-

К

ну рабочей щели dщ установки.

2 4.2. Среднюю квадратическую погрешность aVCTJv при определении КПК

у к

самой установки вычисляют по формуле

°уст WK ^°пр ус“Н°£л^ >

(33)

ГДб ^пр*уст ^ /) *

— средняя квадратическая погрешность нестабильности источника питания лампы.

о2 = о? 4 о? =2-0,0672=0,01 %.

лет л с л в

Подставке численные значения в формулу (Зв), получим

ОуСТ д,к=2 -2240,01 =8,01 %

2.4.3 Среднюю квадратическую погрешность при вычислении NK определяют по формуле

(34)

2 ~2 +

к ВЫХ оп э

°N_ —°Г

растр

где вр -средняя квадратическая погрешность при определении оптическо-вых оп

го увеличения микро объект ива блока (сгг =1,75 % Для це-

вы\ оп

ны деления окулярного микрометра С =0,0 310 3 мм);

С г —средняя квадратическая погрешность при измерении электронно-

оптического увеличения (сгг =1,5 % ло ГОСТ 21815.10);

э

растр—средняя квадратическая погрешность при измерении периода растра Р.

1 АР лл

°растр— з Р %

с ОСТ 3.4804.

АР

Р

=0,025 для любого периода растра в соответствии

0,025

^растр— з

• 100=0,83 % .

Подставляя чиелгнтые значения в формулу (33), голучим

а% =1,752 41,5240,832 =6,0 %.

2 4.4. Поправку за ширину рабочей щели (^щ) установки вычисляют по фор

муле

<4=

sin(n■ATK-durrBX оп) я • NK -dfji' Гвх оп

(35)

Среднюю квадратическую погрешность за счет поправки на ширину рабочей щели (а— ) вычисляют по формуле

°nk

о о =(jcctgx—1 2 а% 4-2(^ 4-2аг

iv к у к щ

(36)

вх оп

где x = n-NK-dm -Гвх оп

ff_v =2,45 % в соответствии с формулой (34);

К

ойщ—средняя квадратическая г о грешность при измерении рабочей щели dux'* <7^=1 % (измерительный компаратор ИЗА-2);

<5Г -средняя квадратическая погрешность при определении оптическо-го

вх оп

увеличения миирообъектива осветителя; и г =1/75 % (для микроскопа с 1QX м икре объекта вом и окулярам

вх оп

МОВ-1—16Х с детой деления 0,001 03 мм).

Для ^щ=0,1 мм, iVK= 16 мм”1 , Гвхои =0ДХ

Gg N =0,1 у2-6+2 • 12+2 ■ ] ,752 =0,1 у 20,125=0,45 %.

Подставив численные значения в формулу (32), получим

а\ N =8 0,1+6,0+0,452=14,2 %;

П К

Од N ~ % •

'п ’к

2 4.5 Погрешность <т к м для изделий с Гэс0,8 определяют

к

муле

где

°ка "к 2°УСГ WK + 0^K+CT0 д, +0O;v +<Тсчит .

К а

по фор*

(37)

<7— —средняя квадратическая погрешность за счет поправки на

0 N3

ширину вспомогательной щели А всп при определении КПК приемного блока;

сгечит — погрешность считывания с графика значений КПх и КПг составляют 1,0 % (определено экспериментально);

ov_Tл/ , ом , а— — в соответствии с пп. 2.4 2, 2.4.3, 2.4.4.

у к к Ojv

2.4 5. Попразку за ширину вспомогательной щели ДВсп при определении КПК приемного блока вычисляют по форму/е

°N~

sin(ii N3 ДвсГГ)

л Д

всп

(38)

Среднюю квадратическую погрешность за счет поправки на ширину вспо

могательной щели (о—, ) вычисляют по формуле

о N

в

ап' =(^cts(x—1)) ]/2а% +2ад ЛГ г э

всп

(39)

где х—zi-N3&

ВСП J

а

дг —средняя квадратическая погрешность при вычислении

Г

вых оп

растр

г

=0,832 ^ (752=2,58 %

ПЫХ ОП

Од —средняя квадратическая погрешность при измерении вспомогатель-

всп

Од

всп

ной щели Двсп (измерительный компаратор ИЗА-2); = 1 %•

Для Двсп =0,015 мм, Л?э=18 мм-1

О- =С,2

° N.

2,58+2 12=0,54 % .

Подставке численные зншеиия в формулу (37), получим

^K N =2-8,01 -6,0 +0,452 +0,512+12 =23,5 %;

аК N ,8 % .

п к

3. Среднюю квадратическую погрешность намерения коэффициента передачи Контраста вычисляют по формуле (29), подставляя численные значения.

Для изделий с Гэ<0,в

ат = }^2,2а+1,122+0 ,382+4,82=уЛ32,4=5,7 % .

N.

Суммарная погрешность измерения для частоты, не превышающей 1€ мм-1, с вероятностью 0,95 находится в интервале

=±1,96а у* “гЬ1,96*5,7—±11 ,2 % .

N.

Для изделий с Г a <0,81

N

к

Y2 2^+1,12^+0,3843,8а=4(9 % .

N.

±1,96 4,9= ±9,6 %.

Закон распределения — нормальный.

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. РАЗРАБОТАН И ВНЕСЕН Министерством электронной промышленности СССР

РАЗРАБОТЧИКИ

С. Н. Крестинин (руководитель темы); С. А. Муравлева; М. В. Ненашева; А. В. Смазнов

2. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам от 29.12.90 № 3725

3. Срок первой проверки — 3 квартал 1997 г.

Периодичность проверки — 5 лет

4. Взамен ОСТ ВЗ—4119—78

5. Ссылочные нормативно-технические документы

1 >

Об значение Н1Д, на который дана ссылка

1

Н пункта

ГОСТ 7721-89

3 3

ГОСТ 11612.0-81

Вводная чгсть

ГОСТ 16263 -70

Вводная чгсть

ГОСТ 1S8C3 —■85

Вводная чгсть

ГОСТ 21815.0 —86

Вводная чгсть, 2.2, 2 9

ГОСТ 21815 10 —86

4.1

Редактор Р. Г. Говердовская Технический редактор Л. #. Митрофанова Корректор Е. Ю. Гебрук

Г дано в wart 57.02.91 Подп. в печ. 24.05,91 1,25 уел. п. л. 1,25 уел. кр.-отт. 1,10 уч -изт л.

Т, раж ЭС Э0 Цена 45 к.

Ордена «Знак Почета» Издательство стандартов, 123557, Москва, ГСП,

Новопресненский пер., 3

Калужская типография стандартов, ул. Московская, 236. За к 462

Другие госты в подкатегории

    ГОСТ 10413-84

    ГОСТ 11163-84

    ГОСТ 12491-67

    ГОСТ 14205-84

    ГОСТ 16755-71

    ГОСТ 17450-78

    ГОСТ 17451-78

    ГОСТ 17452-78

    ГОСТ 17457-72

    ГОСТ 17470-77

    ГОСТ 17487-72

    ГОСТ 17485-77

    ГОСТ 17793-77

    ГОСТ 18485-73

    ГОСТ 17639-72

    ГОСТ 18571-73

    ГОСТ 18588-73

    ГОСТ 19139-73

    ГОСТ 18862-73

    ГОСТ 18933-73

    ГОСТ 19438.0-80

    ГОСТ 15962-84

    ГОСТ 1914-81

    ГОСТ 19438.10-75

    ГОСТ 19438.12-75

    ГОСТ 19438.15-77

    ГОСТ 19438.16-77

    ГОСТ 19438.17-77

    ГОСТ 19438.18-78

    ГОСТ 19438.19-78

    ГОСТ 19438.13-75

    ГОСТ 19438.20-79

    ГОСТ 19438.21-79

    ГОСТ 19438.11-75

    ГОСТ 19438.3-74

    ГОСТ 19438.14-75

    ГОСТ 19438.2-74

    ГОСТ 19438.8-75

    ГОСТ 19438.1-74

    ГОСТ 19748.2-74

    ГОСТ 19785-88

    ГОСТ 20186-74

    ГОСТ 18720-90

    ГОСТ 21011.0-75

    ГОСТ 21011.1-76

    ГОСТ 21011.2-76

    ГОСТ 21011.3-77

    ГОСТ 21011.4-77

    ГОСТ 21011.5-78

    ГОСТ 21011.6-78

    ГОСТ 21011.7-80

    ГОСТ 21059.0-75

    ГОСТ 21059.1-75

    ГОСТ 21059.10-79

    ГОСТ 21059.2-75

    ГОСТ 21059.3-75

    ГОСТ 21059.4-76

    ГОСТ 21059.5-76

    ГОСТ 19438.4-74

    ГОСТ 21059.6-79

    ГОСТ 21059.7-79

    ГОСТ 21059.8-79

    ГОСТ 21059.9-79

    ГОСТ 21106.0-75

    ГОСТ 19438.7-75

    ГОСТ 21106.1-75

    ГОСТ 21106.10-77

    ГОСТ 21106.11-77

    ГОСТ 19438.6-75

    ГОСТ 21106.12-77

    ГОСТ 21106.13-78

    ГОСТ 21106.15-79

    ГОСТ 21106.14-78

    ГОСТ 21106.3-76

    ГОСТ 21106.2-75

    ГОСТ 21106.16-79

    ГОСТ 21106.4-76

    ГОСТ 21106.5-77

    ГОСТ 21106.7-77

    ГОСТ 21106.6-77

    ГОСТ 21106.8-77

    ГОСТ 21107.0-75

    ГОСТ 21106.9-77

    ГОСТ 21107.11-78

    ГОСТ 21107.10-78

    ГОСТ 21107.1-75

    ГОСТ 21107.12-78

    ГОСТ 21107.14-80

    ГОСТ 21107.3-75

    ГОСТ 21107.4-75

    ГОСТ 21107.2-75

    ГОСТ 21107.13-78

    ГОСТ 21107.5-75

    ГОСТ 21107.6-75

    ГОСТ 21107.8-76

    ГОСТ 21107.7-75

    ГОСТ 21815.0-86

    ГОСТ 21815.1-86

    ГОСТ 21815.10-86

    ГОСТ 21107.9-76

    ГОСТ 21815.11-86

    ГОСТ 21815.12-86

    ГОСТ 21815.14-86

    ГОСТ 21815.13-86

    ГОСТ 21815.15-86

    ГОСТ 21815.16-86

    ГОСТ 21815.17-86

    ГОСТ 21815.19-90

    ГОСТ 21815.2-86

    ГОСТ 21815.3-86

    ГОСТ 21815.4-86

    ГОСТ 21815.5-86

    ГОСТ 21815.6-86

    ГОСТ 21815.7-86

    ГОСТ 21815.8-86

    ГОСТ 2182-75

    ГОСТ 21815.9-86

    ГОСТ 22603-77

    ГОСТ 23197-78

    ГОСТ 22060-76

    ГОСТ 23010-78

    ГОСТ 26799-85

    ГОСТ 25793-83

    ГОСТ 27943-88

    ГОСТ 28855-90

    ГОСТ 27810-88

    ГОСТ 3839-70

    ГОСТ 7428-74

    ГОСТ 19438.9-75

    ГОСТ 8090-73

    ГОСТ 8106-70

    ГОСТ 8490-77

    ГОСТ 7842-71

    ГОСТ 28176-89

    ГОСТ 22052-76

    ГОСТ 20271.3-91

    ГОСТ Р 51050-97

    ГОСТ 30831-2002

    ГОСТ 20271.1-91