ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
ГОСУДАРСТВЕННАЯ СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ В ДИАПАЗОНЕ I 20000 мкм
ГОСТ 8.536-85
Издание официальное
Цена 5 коп.
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО СТАНДАРТАМ Москва
РАЗРАБОТАН Государственным комитетом СССР по стандартам
ИСПОЛНИТЕЛИ
Л. С. Бабаджанов , канд. техн, наук (руководитель темы); Ю. Н. Николаиш-вили; В. Н. Филимонова
ВНЕСЕН Государственным комитетом СССР по стандартам
Член Госстандарта Л. К. Исаев
УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 6 декабря 1985 г. № 3859
УДК 389.14.089.6:006.354
Группа Т84
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
Государственная система обеспечения единства
измерений
ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИИ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ В ДИАПАЗОНЕ 1--20000 мкм
ГОСТ
8.536-85
State system for ensuring the uniformity of measurements. State verification schedule for means measuring the coating thickness in the range of 1 to 20000 gm
ОКСТУ 0008
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 6 декабря
1985 г, № 3859 срок введения установлен | с 01.01.87 |
Настоящий стандарт распространяется на государственную поверочную схему для средств измерений толщины покрытий в диапазоне 14-20000 мкм и устанавливает назначение установки высшей точности для воспроизведения единицы длины в области измерений толщины покрытий в диапазоне 14-30 мкм, основные метрологические характеристики установки высшей точности и порядок передачи размера единицы длины в области измерений толщины покрытий в диапазоне 14-20000 мкм, при ломощи образцовых средств измерений рабочим средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов поверки.
1. УСТАНОВКА ВЫСШЕЙ ТОЧНОСТИ
1.1. Установка высшей точности предназначена для воспроизведения и хранения единицы длины в области измерений толщины покрытий в диапазоне 14-30 мкм и передачи размера единицы при помощи образцовых средств измерений рабочим средствам измерений, применяемым в народном хозяйстве с целью обеспечения единства изхмерений в стране.
1.2. В основу измерений толщины покрытий, выполняемых в СССР, должна быть положена единица, воспроизводимая указанной установкой высшей точности.
1.3. Установка высшей точности состоит из комплекса следующих средств измерений:
оптический квантовый генератор по ГОСТ 25373—82;
Издание официальное
★
Стр. 2 ГОСТ 8.536—85
специальный интерферометр;
система обработки информации.
1.4. Диапазон значений единицы длины в области измерений толщины покрытий, воспроизводимых установкой высшей точности, составляет 1-^30 мкм.
1.5. Установка высшей точности обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений толщины покрытий со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 0,006 мкм. Неисключепная систематическая погрешность 6 не превышает 0,009 мкм.
1.6. Для обеспечения воспроизведения единицы длины в области измерений толщины покрытий с указанной точностью должны быть соблюдены правила хранения и применения установки высшей точности, утвержденные в установленном порядке.
1.7. Установку высшей точности применяют для передачи размера единицы длины в области измерений толщины покрытий образцовым средствам измерений 2-го разряда методом прямых измерений.
2. ОБРАЗЦОВЫЕ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
2.1. Образцовые средства измерений, заимствованные из других поверочных схем
2.1.1. В качестве образцовых средств измерений, заимствованных из других поверочных схем, применяют образцовые плоскопараллельные концевые меры длины 1-го разряда по ГОСТ 8.020—75.
2.1.2. Образцовые плоскопараллельные концевые меры длины 1-го разряда применяют для поверки комплекса средств для поверки мер толщины покрытий 1-го разряда и установок для поверки магнитных и вихретоковых толщиномеров диэлектрических покрытий методом прямых измерений .
2.2. О б р а з цо в ы е средства измерений 1-го разряда
2.2.1. В качестве образцовых средств измерении 1-го разряда применяют комплекс средств для поверки мер толщины покрытий в диапазоне 1-=-10000 мкм, состоящий из комплекта средств для поверки мер толщины покрытий, интерферометра и профилографа.
2.2.2. Пределы допускаемых абсолютных погрешностей А образцовых средств измерений 1 -го разряда составляют (0,05 + + 0,01 h) мкм, где h — толщина покрытия в мкм.
2.2.3. Образцовые средства измерений 1-го разряда применяют для поверки образцовых средств измерений 2-го разряда и рабочих мер толщины покрытий методом прямых измерений.
ГОСТ 8.536—85 Стр. 3
2.3. Образцовые средства измерений 2-го разряда
2.3.1. В качестве образцовых средств измерений 2-го разряда применяют образцовые меры толщины покрытий в диапазоне 1-5—1000 мкм и установки для поверки магнитных и вихретоковых толщиномеров диэлектрических покрытий в диапазоне 1—5—20000 мкм.
2.3.2. Пределы допускаемых абсолютных погрешностей А мер толщины покрытий составляют от (0,3 + 0,025 Л) до (0,1 + + 0,025 /г) мкм; установок для поверки магнитных и вихретоковых толщиномеров диэлектрических покрытий в диапазоне 0,001 + +0,05 мм — 0,6 мкм, в диапазоне 0,05+2,00 мм — 20 мкм, в диапазоне 2+20 мм — 20 мкм.
2.3.3. Образцовые средства измерений 2-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений методом прямых измерений.
3. РАБОЧИЕ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
3.1. В качестве рабочих средств измерений применяют меры толщины покрытий различных сочетаний материалов оснований и покрытий и толщиномеры покрытий, сгруппированные по назначению в зависимости от материалов покрытий и оснований.
3.2. Пределы допускаемых абсолютных погрешностей рабочих средств измерений составляют для мер от (0,3 + 0,05 h) до (0,2 + + 0,05 h) мкм, для толщиномеров покрытий от 0,4 до 200 мкм.
те»АА>сте(янля шмемчвая сиял для оист» яаясрсяня томимы яоянпив » дддалзоке 1*ЯММ м
агмо г»н<*<« H»wfu г
■И
3«&
Редактор В. С. Бабкина
Технический редактор В. Н. Прусакова Корректор В. Ф. Малютина
Сдано в наб. 24.12.85 Подп. в печ 03.02.86 0,5 усл. печ. л. + вкл. 0.25 усл. печ. л.
0.18 уч.-изд. л. +вкл. 0,31 уч.-изд. л. Тир., 16 000 Цена 5 коп.
Цена 5 коп.
Величина | Единица | ||
Наймем оеакме | Обо значение | ||
международное | русское | ||
ОСНОВНЫ | Е ЕДИНИ! | 1Ы си | |
Длина | метр | гл | M |
Масса | килограмм | kg | КГ |
Время | секунда | S | с |
Сила электрического тока | ампер | А | А |
Термодинамическая температура | кельвин | К | К |
Количество вещества | моль | mol | моль |
Сила света | кандела | cd | КД |
ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ЕДИНИЦЫ СИ | |||
Плоский угол | радиан | rad | рад |
Телесный угол | стерадиан | sr | с₽ |
ПРОИЗВОДНЫЕ ЕДИНИЦЫ СИ, ИМЕЮЩИЕ СПЕЦИАЛЬНЫЕ НАИМЕНОВАНИЯ
Величина | Единица | Выражение через осмоаные м до-, лолиительные единицы СИ | ||
Намменоаа-ние | Обозначение | |||
междуна-родное | русское | |||
Частота | герц | Hz | Гц | с-1 |
Сила | ньютон | N | н | м- КГ’С-2 |
Давление | паскаль | Ра | Па | м_| • кг-с-3 |
Энергия | джоуль | J | Дж | м2-кгс~1 |
Мощность | ватт | W | Вт | м2 - КГ С""3 |
Количество электричества | кулон | С | Кл | с А |
Электрическое напряжение | вольт | V | В | м2кгс~3 • А“! |
Электрическая емкость | фарад | F | ф | м"^сг“’*с4‘А* |
Электрическое сопротивление | ом | У | Ом | м2-кг-с“3-А"* |
Электрическая проводимость | сименс | S | См | м-2-кг-'-сэА“ |
Поток магнитной индукции | вебер | Wb | Вб | м2 • кг - с-3 А“| |
Магнитная индукция | тесла | т | Тл | кг с-2- А”1 |
Индуктивность | генри | н | Гн | м’кг-с-2- А-1 |
Световой поток | люмен | 1т | лм | кд ср |
Освещенность | люкс | 1х | лк | м-3 - кд - ср |
Активность радионуклида | беккерель | Bq | Бк | С-' |
Поглощенная доза ионизирую- | грэй | Gy | Гр | м2 с-2 |
щего излучения Эквивалентная доза излучения | зиверт | Sv | Зв | м2- с~2 |