ГОСТ 21006-75
Группа П00
МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ
Термины, определения и буквенные обозначения
Electron microscopes. Terms definitions and letter symbols
МКС 01.040.31
Дата введения 1976-07-01
Постановлением Государственного комитета стандартов Совета Министров СССР от 17 июля 1975 г. N 1835 дата введения установлена 01.07.76
Ограничение срока действия снято Постановлением Госстандарта СССР от 10.12.81 N 5329
ПЕРЕИЗДАНИЕ.
Настоящий стандарт устанавливает применяемые в науке, технике и производстве термины, определения и буквенные обозначения величин электронных микроскопов.
Термины, установленные настоящим стандартом, обязательны для применения в документации всех видов, учебниках, учебных пособиях, технической и справочной литературе. Приведенные определения можно при необходимости изменять по форме изложения, не допуская нарушения границ понятия.
Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин. Применение терминов - синонимов стандартизованного термина запрещается. Недопустимые к применению термины-синонимы приведены в стандарте в качестве справочных и обозначены пометой "Ндп".
Для отдельных стандартизованных терминов в стандарте приведены в качестве справочных их краткие формы, которые разрешается применять в случаях, исключающих возможность их различного толкования.
В стандарте в качестве справочных для ряда стандартизованных терминов приведены иностранные эквиваленты на немецком (D) и английском языках (Е).
В стандарте приведены алфавитные указатели содержащихся в нем терминов на русском языке и их иностранных эквивалентов.
К стандарту дано приложение, содержащее термины общих понятий электронно-оптических приборов.
Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом, их краткие формы - курсивом.
Термин | Буквенное обозначение | Определение | |
1. Электронный микроскоп D. Elektronenmikroskop | - | Микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками средствами электронной оптики | |
Е. Electron Microscope | |||
F. Microscope | |||
ОСНОВНЫЕ ВИДЫ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ | |||
2. Просвечивающий электронный микроскоп (ПЭМ) | - | Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, проходящими сквозь этот объект | |
Ндп. Трансмиссионный электронный микроскоп | |||
D. Durchstrahlungs-Elektronenmicroskop | |||
Е. Transmission electron microscope | |||
3. Растровый электронный микроскоп (РЭМ) | - | Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта при сканировании его поверхности электронным зондом | |
Ндп. Сканирующий электронный микроскоп | |||
D. Rasterelelektronenmikroskop | |||
Е. Scanning electron microscope | |||
4. Отражательный электронный микроскоп | - | Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, отраженными этим объектом | |
D. Reflexions-Eletronenmikroskop | |||
Е. Reflection electron microscope | |||
5. Эмиссионный электронный микроскоп | - | Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, эмиттируемыми этим объектом | |
D. Emissions-Elektronenmikroskop | |||
Е. Emission electron microscope | |||
6. Зеркальный электронный микроскоп | - | Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта, являющегося катодом электронного зеркала | |
D. Spiegelelektronenmikroskop | |||
Е. Mirror electron microscope | |||
7. Автоэлектронный проектор
| - | Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, эмиттируемыми этим объектом под воздействием электрического поля | |
Микроскоп-проектор | |||
КОНСТРУКТИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ | |||
8. Электронная пушка электронного микроскопа | - | Эмиссионная система, предназначенная для ускорения электронов в электронном микроскопе | |
Электронная пушка | |||
D. Elektronenstranhler | |||
Е. Electron gun | |||
9. Электронное зеркало D. Elektronenspiegel | - | Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для изменения направления осевых составляющих скоростей электронов электронного пучка на обратное | |
Е. Electron mirror | |||
10. Видеоконтрольное устройство растрового электронного микроскопа (ВКУ) | - | Система визуального наблюдения процессов, протекающих в растровом электронном микроскопе при взаимодействии электронного зонда с объектом | |
11. Электронная линза электронного микроскопа | - | Электронно-оптический элемент, предназначенный для фокусировки электронных пучков в электронном микроскопе | |
Линза | |||
D. Elektronenlinse | |||
Е. Electron lens | |||
12. Магнитная линза электронного микроскопа | - | Электронная линза электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков магнитным полем | |
Магнитная линза | |||
D. Magnetische Linse | |||
Е. Magnetic lens | |||
13. Электростатическая линза электронного микроскопа | - | Электронная линза электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков электрическим полем | |
Электростатическая линза | |||
D. Elecktrische Linse | |||
Е. Electric lens | |||
14. Формирующая линза | - | Электронная линза электронного микроскопа, формирующая электронный зонд в плоскости объекта | |
15. Конденсаторная линза электронного микроскопа | - | Электронная линза электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков, освещающих объект | |
Конденсор | |||
D. Kondensorlinse | |||
Е. Condenser lens | |||
16. Двойной конденсатор электронного микроскопа Двойной конденсор | - | Часть электронно-оптической системы, состоящая из двух конденсаторных линз, предназначенная для фокусировки электронных пучков, освещающих объект | |
D. Doppelkondensor | |||
Е. Double condenser | |||
17. Объективная линза электронного микроскопа | - | Электронная линза электронного микроскопа, формирующая первое увеличенное изображение объекта | |
Объектив | |||
D. Objektivlinse | |||
Е. Objective lens | |||
18. Дифракционная линза | - | Электронная линза электронного микроскопа, формирующая промежуточное изображение объекта или его дифракционной картины в предметной плоскости промежуточной линзы | |
19. Промежуточная линза электронного микроскопа Промежуточная линза | - | Электронная линза электронного микроскопа, формирующая промежуточное изображение объекта или его дифракционной картины в предметной плоскости проекционной линзы | |
D. Zwischenlinse | |||
Е. Intermediate lens | |||
20. Проекционная линза электронного микроскопа Проекционная линза | - | Электронная линза электронного микроскопа, формирующая увеличенное конечное изображение объекта или его дифракционной картины | |
Ндп. Проектив | |||
D. Projektiv | |||
Е. Projector | |||
21. Регистрирующая система электронного микроскопа | - | Устройство, предназначенное для регистрации электронов и вторичных излучений в электронном микроскопе | |
Регистрирующая система | |||
22. Фотокамера электронного микроскопа Фотокамера | - | Часть регистрирующей системы электронного микроскопа, предназначенная для фотографирования изображения в электронных пучках | |
D. Aufnahmekammer | |||
Е. Photographic chamber | |||
23. Вакуумная система электронного микроскопа | - | Система, предназначенная для создания вакуума в электронном микроскопе | |
Вакуумная система | |||
D. Vakuumanlage | |||
Е. Vacuum system | |||
24. Юстировочная система электронного микроскопа Юстировочная система | - | Устройство, предназначенное для совмещения электронного пучка с оптической осью электронно-оптической системы электронного микроскопа | |
25. Отклоняющая система электронного микроскопа Отклоняющая система | - | Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для отклонения электронного пучка электрическими или магнитными полями | |
D. Ablenksystem | |||
Е. Deflection system | |||
26. Стигматор D. Stigmator | - | Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для исправления приосевого астигматизма | |
E. Stigmator | |||
27. Полюсный наконечник электронного микроскопа | - | Часть магнитопровода электронного микроскопа, концентрирующая поле магнитной линзы в приосевой области | |
Полюсный наконечник | |||
D. Polschuh | |||
E. Pole piese | |||
28. Колонна электронного микроскопа Колонна | - | Совокупность конструктивно объединенных электронно-оптических и механических элементов электронного микроскопа | |
D. Mikroskoprohr | |||
E. Microscope column | |||
29. Шлюзовое устройство электронного микроскопа Шлюз | - | Устройство, предназначенное для ввода и вывода из колонны электронного микроскопа сменных элементов без существенного нарушения в ней рабочего вакуума | |
D. Schleuse | |||
E. Airlock | |||
ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В ПРОСВЕЧИВАЮЩЕМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ | |||
30. Светлопольное изображение D. Hellfeldabbildung E. Bright-field image | - | Изображение, сформированное в просвечивающем электронном микроскопе электронными пучками, содержащими нерассеянные в объекте электроны, а также рассеянные в пределах апертурного угла объективной линзы | |
31. Темнопольное изображение D. Dunkelfeldabbildung | - | Изображение, сформированное в просвечивающем электронном микроскопе только рассеянными в объекте электронными пучками | |
E. Dark-field image | |||
32. Микродифракция D. Feinbereichsbeugung E. Selected ared diffraction | - | Дифракционное изображение малого участка объекта, сформированное в задней фокальной плоскости объективной линзы и увеличенное электронными линзами просвечивающего электронного микроскопа | |
ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В РАСТРОВОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ | |||
33. Изображение во вторичных электронах | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием вторичных электронов от объекта | |
D. Abbildung mit | |||
E. Secondary-Emission mobe | |||
34. Изображение в отраженных электронах | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием отраженных от объекта электронов | |
D. Abbildung mit | |||
Е. Backscackscattered Electron mode | |||
35. Изображение в поглощенных электронах | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием электронов, поглощенных объектом | |
D. Abbildung mit | |||
E. Absorbed specimen current mode | |||
36. Катодолюминесцентное изображение D. Abbildung mit Kathodolumineszenz | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием оптического излучения, возбуждаемого в объекте электронным зондом | |
E. Cathodoluminescence mode | |||
37. Изображение в наведенном электронным зондом токе D. Abbildung mit induzierten | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием тока, возникающего в цепи с полупроводниковым объектом при воздействии на него электронного зонда | |
E. Induced current mode | |||
38. Изображение в рентгеновском характеристическом излучении | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием характеристического рентгеновского излучения, возбуждаемого в объекте электронным зондом | |
39. Изображение в Оже-электронах | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием Оже-электронов | |
40. Изображение в прошедших электронах | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе электронами, прошедшими сквозь объект | |
41. Изображение картин каналирования электронов D. Abbildung mit Channelling Diagrammen | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием эффекта каналирования электронных пучков в объекте | |
E. Electron Channeling Pattern mode | |||
42. Изображение при Y-модуляции | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе сложением видеосигнала с током (напряжением) кадровой развертки | |
ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В ЭМИССИОННОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ | |||
43. Изображение во вторичных электронах при ионной бомбардировке | - | Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием вторичных электронов, возникающих при бомбардировке объекта ионами | |
44. Изображение во вторичных электронах при электронной бомбардировке | - | Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием вторичных электронов, возникающих при бомбардировке объекта электронами | |
45. Изображение в термоэлектронах | - | Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием термоэлектронов, испускаемых объектом при нагревании | |
46. Изображение в фотоэлектронах | - | Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием фотоэлектронов, испускаемых объектом под действием оптического излучения | |
ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ | |||
47. Ускоряющее напряжение электронного микроскопа | Разность потенциалов, определяющая энергию электронов в осветительной системе электронного микроскопа | ||
Ускоряющее напряжение | |||
D. Beschleunigungsspannung | |||
E. Accelerating voltage | |||
48. Нестабильность напряжения электронного микроскопа Нестабильность напряжения | Самопроизвольное изменение значения ускоряющего напряжения электронного микроскопа во времени | ||
49. Нестабильность тока электронного микроскопа | Самопроизвольное изменение значения тока электронного микроскопа во времени | ||
Нестабильность тока | |||
50. Электронно-оптическое увеличение электронного микроскопа D. Elektronenoptische | Отношение линейного размера изображения, полученного непосредственно в электронном микроскопе, к линейному размеру соответствующего элемента объекта | ||
E. Electron optical magnification | |||
51. Общее увеличение D. | Увеличение изображения объекта, равное произведению электронно-оптического увеличения и дополнительного увеличения, полученного вне электронного микроскопа | ||
E. Total magnification | |||
52. Разрешающая способность электронного микроскопа | Наименьшее расстояние между двумя деталями объекта, раздельно изображаемыми в электронном микроскопе | ||
D. | |||
Е. Resolving power | |||
53. Разрешающая способность электронного микроскопа по кристаллической решетке | Наименьшее межплоскостное расстояние кристаллической решетки, плоскости которой изображаются раздельно в электронном микроскопе | ||
D. Netzebenenabbildung | |||
Е. Lattice plane resolution | |||
54. Разрешающая способность электронного микроскопа по точкам | Наименьшее расстояние между двумя микрочастицами объекта, раздельно изображаемыми в электронном микроскопе | ||
D. | |||
Е. Point resolution | |||
55. Электронная яркость D. Richtsrtahlwert | Ток электронного пучка в пределах единичного телесного угла, приходящийся на единицу площади облучаемой поверхности | ||
Е. Brightnes | |||
56. Апертурный угол формирующей линзы | Половина угла расхождения траекторий электронов в электронном зонде | ||
57. Апертурный угол объективной линзы электронного микроскопа | Половина угла расхождения траекторий электронов, покидающих объект и формирующих изображение | ||
Апертурный угол объективной линзы | |||
58. Апертурный угол осветительной системы электронного микроскопа | Половина угла расхождения траекторий электронов, падающих на объект | ||
Апертурный угол осветительной системы | |||
АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ
ВКУ | 10 |
Зеркало электронное | 9 |
Изображение в наведенном электронном зондом токе | 37 |
Изображение во вторичных электронах | 33 |
Изображение во вторичных электронах при ионной бомбардировке | 43 |
Изображение во вторичных электронах при электронной бомбардировке | 44 |
Изображение в Оже-электронах | 39 |
Изображение в отраженных электронах | 34 |
Изображение в поглощенных электронах | 35 |
Изображение в прошедших электронах | 40 |
Изображение в рентгеновском характеристическом излучении | 38 |
Изображение в термоэлектронах | 45 |
Изображение в фотоэлектронах | 46 |
Изображение картин каналирования электронов | 41 |
Изображение катодолюминесцентное | 36 |
Изображение при -модуляции | 42 |
Изображение светлопольное | 30 |
Изображение темнопольное | 31 |
Колонна | 28 |
Колонна электронного микроскопа | 28 |
Конденсор | 15 |
Конденсор двойной | 16 |
Конденсор электронного микроскопа двойной | 16 |
Линза | 11 |
Линза дифракционная | 18 |
Линза магнитная | 12 |
Линза проекционная | 20 |
Линза промежуточная | 19 |
Линза формирующая | 14 |
Линза электронного микроскопа конденсорная | 15 |
Линза электронного микроскопа магнитная | 12 |
Линза электронного микроскопа объективная | 17 |
Линза электронного микроскопа проекционная | 20 |
Линза электронного микроскопа промежуточная | 19 |
Линза электронного микроскопа электронная | 11 |
Линза электронного микроскопа электростатическая | 13 |
Линза электростатическая | 13 |
Микродифракция | 32 |
Микропроектор | 7 |
Микроскоп-проектор | 7 |
Микроскоп электронный | 1 |
Микроскоп электронный зеркальный | 6 |
Микроскоп электронный отражательный | 4 |
Микроскоп электронный просвечивающий | 2 |
Микроскоп электронный растровый | 3 |
Микроскоп электронный сканирующий | 3 |
Микроскоп электронный трансмиссионный | 2 |
Микроскоп электронный эмиссионный | 5 |
Наконечник полюсный | 27 |
Наконечник электронного микроскопа полюсный | 27 |
Напряжение ускоряющее | 47 |
Напряжение электронного микроскопа ускоряющее | 47 |
Нестабильность напряжения | 48 |
Нестабильность напряжения электронного микроскопа | 48 |
Нестабильность тока | 49 |
Нестабильность тока электронного микроскопа | 49 |
Объектив | 17 |
Проектив | 20 |
Проектор автоэлектронный | 7 |
Пушка электронная | 8 |
Пушка электронного микроскопа электронная | 8 |
ПЭМ | 2 |
РЭМ | 3 |
Система вакуумная | 23 |
Система отклоняющая | 25 |
Система регистрирующая | 21 |
Система электронного микроскопа вакуумная | 23 |
Система электронного микроскопа отклоняющая | 25 |
Система электронного микроскопа регистрирующая | 21 |
Система электронного микроскопа юстировочная | 24 |
Система юстировочная | 24 |
Способность электронного микроскопа по кристаллической решетке разрешающая | 53 |
Способность электронного микроскопа по точкам разрешающая | 54 |
Способность электронного микроскопа разрешающая | 52 |
Стигматор | 26 |
Увеличение общее | 51 |
Увеличение электронного микроскопа электронно-оптическое | 50 |
Угол объективной линзы апертурный | 57 |
Угол объективной линзы электронного микроскопа апертурный | 57 |
Угол осветительной системы апертурный | 58 |
Угол осветительной системы электронного микроскопа апертурный | 58 |
Угол формирующей линзы апертурный | 56 |
Устройство растрового электронного микроскопа видеоконтрольное | 10 |
Устройство электронного микроскопа шлюзовое | 29 |
Фотокамера | 22 |
Фотокамера электронного микроскопа | 22 |
Шлюз | 29 |
Яркость электронная | 55 |
АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА НЕМЕЦКОМ ЯЗЫКЕ
Abbildung mit Channelling Diagrammen | 41 |
Abbildung mit Kathodolumineszengz | 36 |
Abbildung mit induzierten | 37 |
Abbildung mit | 35 |
Abbildung mit | 34 |
Abbildung mit | 33 |
Ablenksystem | 25 |
| 52 |
Aufnahmekammer | 22 |
Beschleunigungsspannung | 47 |
Doppelkondensor | 16 |
Dunkelfeldabbildung | 31 |
Durchstrahlungs-Elektronenmikroskop | 2 |
Elektrische Linse | 13 |
Elektronenlinse | 11 |
Elektronenmikroskop | 1 |
Elektronenoptische | 50 |
Elektronenspiegel | 9 |
Elektronenstrahler | 8 |
Emissions-Elektronenmikroskop | 5 |
Feinbereichsbeugung | 32 |
| 51 |
Hellfeldabbildung | 30 |
Kondensorlinse | 15 |
Magnetische Linse | 12 |
Mikroskoprohr | 28 |
Netzebenenabbildung | 53 |
Objektivlinse | 17 |
Polschuh | 27 |
Projektiv | 20 |
| 54 |
Rasterelelektronenmikroskop | 3 |
Reflexions-Elektronenmikroskop | 4 |
Richtsrtahlwert | 55 |
Schleuse | 29 |
Spiegelelektronenmikroskop | 6 |
Stigmator | 26 |
Vakuumanlage | 23 |
Zwischenlinse | 19 |
АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА АНГЛИЙСКОМ ЯЗЫКЕ
Absorbed specimen current mode | 35 |
Accelerating voltage | 47 |
Airlock | 29 |
Backscattered Electron mode | 34 |
Bright-field image | 30 |
Brightnes | 55 |
Cathodoluminescence mode | 36 |
Condenser lens | 15 |
Dark-field image | 31 |
Deflection system | 25 |
Double condenser | 16 |
Electric lens | 13 |
Electron Channeling Pattern mode | 41 |
Electron gun | 8 |
Electron lens | 11 |
Electron microscope | 1 |
Electron mirror | 9 |
Electron optical magnification | 50 |
Emission electron microscope | 5 |
Induced current mode | 37 |
Intermediate lens | 19 |
Lattice plane resolution | 53 |
Magnetic lens | 12 |
Microscope column | 28 |
Mirror electron microscope | 6 |
Objective lens | 17 |
Photographic chamber | 22 |
Point resolution | 54 |
Pole piese | 27 |
Projector | 20 |
Reflection electron microscope | 4 |
Resolving power | 52 |
Scanning electron microscope | 3 |
Secondary-Emission mode | 33 |
Selected ared diffraction | 32 |
Stigmator | 26 |
Total magnification | 51 |
Transmission electron microscope | 2 |
Vacuum system | 23 |
ПРИЛОЖЕНИЕ
Справочное
ОБЩИЕ ПОНЯТИЯ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ
Термин | Пояснение |
1. Электронно-оптический элемент | Устройство, предназначенное для формирования электронных пучков или управления ими электрическими и (или) магнитными полями |
2. Электронно-оптическая система | Совокупность электронно-оптических элементов |
3. Осветительная система | Часть электронно-оптической системы, предназначенной для формирования электронных пучков, освещающих объект |
4. Изображающая система | Часть электронно-оптической системы, формирующая увеличенное изображение объекта или дифракционной картины |
5. Аберрация | Искаженное изображение объекта, возникающее вследствие непараксиальности и немонохроматичности электронных пучков, дифракции электронов |
6. Электронный луч | Совокупность электронов, движущихся по одной траектории |
7. Электронный пучок | Совокупность электронных лучей, имеющих общую точку |
8. Кроссовер | Минимальное сечение электронного пучка в эмиссионной системе |
9. Электронный зонд | Электронный пучок, имеющий минимальное сечение в заданной плоскости |
10. Эмиссионная система | Электронно-оптическая система, предназначенная для формирования электронного пучка и управления его интенсивностью |
11. Фиктивный катод Нрк. Мнимый источник | Мнимое изображение катода, образованное полем, прилегающим непосредственно к катоду |
12. -образный катод Нрк. Шпилькообразный катод | Катод, изготовленный из проволоки, согнутой под острым углом, вершина которого является эмиттером |
13. Остроконечный катод Нрк. Точечный катод | Катод, эмиттер которого имеет заостренный конец |
Игольчатый катод | |
Острийный катод | |
14. Объект исследования | Предмет, исследуемый в электронном микроскопе |
Нрк. Препарат | |
Образец | |
15. Столик объектов | Устройство, предназначенное для установки и перемещения объектов |
16. Апертурная диафрагма | Диафрагма, ограничивающая апертурный угол |
17. Селекторная диафрагма | Диафрагма, ограничивающая участок объекта, с которого получают дифракционную картину |
Текст документа сверен по:
Электроника. Термины и определения. Часть 2:
Сб. стандартов. - , 2005